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P型 單晶硅片

0.4-1.1 <Ω·cm>

電阻率

≤16 <ppma>

氧含量

≤1 <ppma>

碳含量

≥70 <µs>

少子壽命

材料性能

項(xiàng)目 規(guī)格 檢測(cè)方法
生長(zhǎng)方式 直拉法 --
結(jié)晶性 單晶 --
導(dǎo)電類(lèi)型 P型 PN測(cè)試儀
尺寸 M10:182.2×182.2 φ247 mm
G12:210×210 φ295 mm
硅片分選機(jī)
厚度 M10:90-160 μm
G12:90-160 μm
硅片分選機(jī)

電性能

項(xiàng)目 規(guī)格 檢測(cè)方法
電阻率 0.4-1.1 <Ω·cm> 硅片分選機(jī)
少子壽命 ≥70<μs> 少子壽命測(cè)試儀BCT-400
氧含量 ≤16 傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量 ≤1 傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F123-91)

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