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N型 單晶硅片

下載資料

0.6-1.6 <Ω·cm>

電阻率

≤12 <ppma>

氧含量

≤1 <ppma>

碳含量

≥800 <µs>

少子壽命

材料性能

項目 規(guī)格 檢測方法
生長方式 直拉法 --
結(jié)晶性 單晶 --
導(dǎo)電類型 N型 PN 測試儀
尺寸 M10:182.2x182.2φ247mm
G12:210x210 φ295mm
G12-R:182.3x210 φ272mm
硅片分選機
厚度 M10:90-160μm
G12:90-160μm
G12-R:90-160μm
硅片分選機

電性能

項目 規(guī)格 檢測方法
電阻率 0.6-1.6<Ω·cm> 硅片分選機
少子壽命 ≥800<μs> 少子壽命測試儀BCT-400
氧含量 ≤12 傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量 ≤1 傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F123-91)

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