0.6-1.6 <Ω·cm>
抵抗率
≤12 <ppma>
酸素含有量
≤1 <ppma>
炭素含有量
≥800 <µs>
少數(shù)キャリア壽命
材料性能
プロジェクト
仕様
検出方法
結(jié)晶育成方法
CZ(チョクラルスキー)法
--
結(jié)晶性
単結(jié)晶
--
導(dǎo)電タイプ
N型
PN測(cè)定機(jī)
寸法
M10：182.2x182.2φ247mm
G12：210x210 φ295mm
G12-R：182.3x210 φ272mm
シリコンウェハー選別機(jī)
厚さ
M10：90-160μm
G12：90-160μm
G12-R：90-160μm
シリコンウェハー選別機(jī)
| プロジェクト | 仕様 | 検出方法 |
|---|---|---|
| 結(jié)晶育成方法 | CZ(チョクラルスキー)法 | -- |
| 結(jié)晶性 | 単結(jié)晶 | -- |
| 導(dǎo)電タイプ | N型 | PN測(cè)定機(jī) |
| 寸法 | M10：182.2x182.2φ247mm G12：210x210 φ295mm G12-R：182.3x210 φ272mm |
シリコンウェハー選別機(jī) |
| 厚さ | M10：90-160μm G12：90-160μm G12-R：90-160μm |
シリコンウェハー選別機(jī) |
電気特性
プロジェクト
仕様
検出方法
抵抗率
0.6-1.6<Ω·cm>
シリコンウェハー選別機(jī)
少數(shù)キャリア壽命
≥800<µs>
少數(shù)キャリア壽命測(cè)定機(jī)BCT-400
酸素含有量
≤12<ppma>
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置)
炭素含有量
≤1<ppma>
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置)
| プロジェクト | 仕様 | 検出方法 |
|---|---|---|
| 抵抗率 | 0.6-1.6<Ω·cm> | シリコンウェハー選別機(jī) |
| 少數(shù)キャリア壽命 | ≥800<μs> | 少數(shù)キャリア壽命測(cè)定機(jī)BCT-400 |
| 酸素含有量 | ≤12 |
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置) |
| 炭素含有量 | ≤1 |
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置) |
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